高精度計量泵的以下部件通常老化較快：
密封件：計量泵的密封件，如機械密封和填料密封，在長期使用過程中，由于受到介質的侵蝕、磨損以及頻繁的開合運動，容易出現老化、變形和泄漏等問題。尤其是在輸送具有腐蝕性或高粘度的介質時，密封件的老化速度會更快。
隔膜：隔膜是計量泵中的關鍵部件，用于隔離介質和傳動機構。在工作過程中，隔膜不斷地受到拉伸、壓縮和彎曲等應力作用，同時還可能受到介質的腐蝕和磨損。因此，隔膜容易出現疲勞裂紋、破損等老化現象，影響計量泵的精度和可靠性。
柱塞：柱塞與泵體之間存在相對運動，在長期的摩擦作用下，柱塞表面容易出現磨損，導致配合間隙增大。這不僅會影響計量泵的流量精度，還可能引起泄漏。此外，柱塞還可能受到介質的腐蝕，進一步加速其老化。
齒輪和軸承：計量泵的驅動機構通常包含齒輪和軸承等部件。齒輪在傳動過程中，齒面會受到磨損，導致傳動精度下降。軸承則承受著泵的軸向和徑向載荷，長期運轉后，軸承的滾珠或滾柱可能出現磨損、疲勞剝落等現象，影響泵的穩定性和運行精度。
彈簧：彈簧在計量泵中用于提供彈力，如安全閥彈簧、隔膜復位彈簧等。長時間的壓縮和釋放會使彈簧產生疲勞，彈性系數發生變化，從而影響計量泵的性能。如果彈簧受到腐蝕，其強度和彈性也會降低，加速老化進程。
單向閥：單向閥的閥芯和閥座在頻繁的開閉過程中，容易受到介質的沖刷和磨損，導致密封不嚴。特別是在輸送含有顆粒雜質的介質時，單向閥的磨損會更加嚴重，影響計量泵的流量準確性和穩定性。
